無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(CleanRoom)、無塵室。其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。凈化車間根據區域環境、凈化程度等因素,分為若干等級。
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萬級無塵車間標準包括:1、塵粒最大允許數(每立方米):≤2500
2、大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個,大或等于5微米的粒子數不得超過2000個;
3、微生物最大允許數:浮游菌數不得超過100個每立方米;沉隆菌數不得超過3個每培養皿。
4、壓差:相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
5、配電:潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
6、噪聲控制
(1)動態測試時,萬級潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。
(2)靜態測試時,萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。